AH系列热裂解源是一款性价比较高的原子氢源，可通过高温将高纯氢气裂解为活性高的氢原子，通常用于衬底清洗、去除氧化物、促进原子迁移及氮化镓生长速率调整等。气体传输导管中的加热丝为耐高温的钨丝材质，可加热至1800-2200℃。AH系列热裂解源额外配备水冷法兰，可显著降低热辐射，减少材料高温放气。特殊设计的扩散板结构可控制原子氢分布状态，提高束流均匀性。此外，原子氢热裂解源仅可产生氢原子及氢分子，可有效避免衬底损伤。
| ● 低成本，性能高；低温原位衬底清洗 | ● 改善材料二维生长；提供原子级平整表面 |
| 热裂解源型号 | 所有研发及生产型MBE系统 | |
| 适用气体源 | H2 | |
| 最小安装法兰尺寸 | CF35 | |
| 总长度 (mm) | 494 | |
| 真空内长度 (mm) | 343 | |
| 真空内外径 (mm) | 151 | |
| 加热方式 | 辐射加热，自支撑钨丝 | |
| 进气口 | 1/4 VCR | |
| 常用工作温度 | 1800-2200℃ | |
| 最高除气温度 | 2500℃ | |
| 冷却 | 标准水冷法兰 | |
| 烘烤温度 | 250℃ | |
| 订购编码 | 3100160001 | |
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