蒸发源快门利用步进电机驱动柔性波纹管进行拉伸和压缩，带动快门挡板向上或向下运动，从而实现完全打开或关断束流。电机软控制可以降低挡板抖动程度，避免材料掉落及颗粒产生。不同材料体系对于挡板和支撑杆可以进行定制。快门挡板关闭位置需距离蒸发源口部尽可能的远，以最大程度降低打开挡板时束流瞬变大小，但挡板尺寸足够大可确保完全遮挡束流。
| ● 关闭时完全遮挡束流 | ● 机械结构简单 | ● 无粉尘产生 |
| ● 可减小束流瞬变 | ● 性能可靠>100万次开关寿命 |
| 安装法兰 | CF63 | CF100 | VAC7000 | CF150 | CF200 | |
| 适用系统 | MBE600 | MBE800 | MBE800P | MBE1000 | MBE2000 | |
| 挡片材质 | 高纯钽 | |||||
| 驱动方式 | 步进电机 | |||||
| 开关速度 | ＜1000ms | |||||
| 开关同步性 | ＜25ms | |||||
| 订购编码 | 3205010033 | 3205010173 | 3205010175 | 3205010176 | 3205010177 | |
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