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等离子技术

提高等离子的发生效率和功率，为小型化及工业应用做准备；紫外光源前期将面对科研的光谱和质谱用户，后期将瞄准光刻等高端需求，离子源将作为工业化用途，完成对目前离子源技术的替代。

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