DT系列双温区蒸发源通常适用于Ga，In，Al等材料，在坩埚口部增加额外的加热丝，独立控制坩埚口附近的温度。根据蒸发材料的不同，可选用两种不同的温度梯度构型。“热唇”模式下可防止材料在坩埚口部凝结，降低椭圆形缺陷；“冷唇”模式可有效避免蒸发材料向坩埚口部迁移。
| ● 超高真空兼容 | ● 两组加热丝单独控温，可实现“热唇”和“冷唇”构型 | ● 适用于不同坩埚尺寸和材料 |
| ● 温度稳定性优于±0.2℃ | ● 配备独立水冷套，蒸发源与水冷可单独拆卸 |
| 蒸发源型号 | DT60 | DT80 | DT150 | DT300 | DT700 | DT1700 | |
| 坩埚容积 (cc) | 60 | 80 | 150 | 300 | 700 | 1700 | |
| 安装法兰尺寸 | CF63 | CF63 | CF100 | CF125 | CF150 | CF200 | |
| 总长度 (mm) | 425.9 | 511 | 508.5 | 520.3 | 523.8 | 604 | |
| 真空内长度 (mm) | 284.9 | 370 | 355 | 365 | 378.8 | 460 | |
| 真空内外径 (mm) | 58.4 | 58.4 | 77.8 | 90.8 | 124.2 | 164.7 | |
坩埚尺寸 (mm) | 口部外径 | 54.2 | 54 | 77 | 90 | 123 | 163.3 |
| 口部内径 | 38.1 | 38 | 50.7 | 65 | 95 | 136 | |
| 高度 | 108.5 | 108.4 | 140.7 | 152.2 | 221 | 289.7 | |
| 坩埚材质 | PBN | ||||||
| 坩埚形状 | 锥形坩埚 | ||||||
| 加热方式 | 辐射加热，PBN支撑钽片 | ||||||
| 热电偶 | C型/W-Re 5%-26% | ||||||
| 温度稳定性 | ≤±0.2℃ | ||||||
| 工作温度 | 300-1350℃ | ||||||
| 最高除气温度 | 上温区1300℃，下温区1350℃ | ||||||
| 烘烤温度 | 250℃ | ||||||
| 订购编码 | 3205010066 | 3205010014 | 3205010095 | 3205010053 | 3205010030 | 3205010079 | |
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