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远程等离子体活性自由基源

RPS-100远程等离子体活性自由基源,产生高密度低能量等离子体,适配多种气体,适合用于远程大面积精密设备及衬底的表面清理、表面活化、表面改性等。


规格参数
安装法兰CF40
工作气压10-4– 10-1 mbar
最大功率100W
等离子体密度

1016 m-3

处理样品尺寸≤4inch


测试图

资源 4xxhdpi.png1736923833460302.png

标签: 超高真空MBE
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