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高效固态射频等离子体源

SWPS-100射频等离子体源使用433MHz固态射频电源驱动，可产生高密度等离子体及自由基，无反射功率，无附加阻抗匹配系统。


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产品特点
● 固态微波源频率可变，平衡微波源和等离子体源之间的不匹配，拓展使用范围● 固态微波源可控制向等离子体传输的功率● 多气体适用（H2、N2、O2、CH4、稀有气体等）
● 体积小，可多个等离子体源同时配置，得到更大等离子体密度● 适用于自由基产生、表面活化、表面处理、蚀刻等



                                                                                               
规格参数


安装法兰CF40
工作气压10-4 - 100mbar
最大功率200W
等离子体密度1016 m-3 


测试图

资源 4xxhdpi.png

资源 6xxhdpi.png资源 5xxhdpi.png

标签： 超高真空MBE
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