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立式远程低温等离子体清洗机

RPTE-VT立式远程低温等离子体清洗机采用自主研发的新型远程低温等离子体激励技术,采用一体集成式设计,内部含有等离子体处理腔,等离子体发生装置、真空泵、PLC控制装置等。可以实现物品表面清洗、表面改性、表面活化等功能。


产品特点
  激励效率高,整体温度低  实现纳米级别清洁,对样品和器件基本无损伤  等离子体稳定、分布均匀
  集成度高,自动化控制,简单易上手  兼容空气、氧气等


规格参数
外形尺寸

685mm(L)×690mm(W)×2000mm(H)

处理容积

27L

工作气压10-2 – 10-1 mbar

系统控制

PLC+触摸屏控制



标签: 超高真空MBE
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