产品概述 Product Overview 费勉仪器提供的6轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制，它主要由低温样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。样品台可以在X、Y、Z方向大

产品概述 Product Overview ● 安装法兰：DN 350CF ● 衬底尺寸：3英寸 ● 加热器：SiC加热器 ● K型热偶测温 ● 旋转速度：0~30 RMP ● 温度范围：RT-1000℃ ● Z轴行程：50mm ● 定制长度 ● 应用领域：薄膜制备、脉冲激光沉积、磁控溅射 相关配件

产品亮点 Highlights ● 液氦制冷 ● 多自由度：最高可达6自由度 ● 温度范围：6K~400K ● 降温速度：RT至10K，<15分钟 ● 兼容液氮：<65K 运行（带泵） 相关配件 Options ● 样品停放台 ● 双样品低温样品台 ● 高温样品台（可选电子束加热） ●

产品概述 Product Overview 4轴MBE高低温样品架可提供样品在X、Y、Z三个方向的平动和绕Z轴的旋转角R1(Polar)。采用液氮制冷，样品台最低温可达80K。独特的灯丝加热结构，保证样品托温度可达1200K。主要由样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台三部分组成。整个样品架及位

产品概述 Product Overview 4轴MBE高温样品架可提供样品在X、Y、Z三个方向的平动和绕Z轴的旋转角R1(Polar)。独特的灯丝加热结构，保证样品托温度可达1200K。主要由样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台三部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下

产品概述 Product Overview 5轴MBE高温样品架可提供样品在X、Y、Z三个方向的平动和绕Z轴的旋转角R1(Polar)、面内旋转角R3（Azimuthal）。其中，X、Y、Z、R1通过XYZ-R1真空位移台实现， R3通过样品架头的齿轮传动机构实现。独特的灯丝加热结构，保证样品托温度可达1200K