产品概述 Product Overview
4轴MBE高低温样品架可提供样品在X、Y、Z三个方向的平动和绕Z轴的旋转角R1(Polar)。采用液氮制冷,样品台最低温可达120K。独特的灯丝加热结构,保证样品托温度可达1200K。主要由样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台三部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料,可以在超高真空下使用。
产品亮点 Highlights
● 样品台最低温:120K;
● 样品托最高温:1200K (辐射加热), 1500K(电子束加热);
● 多自由度: X、Y、Z、R1四个自由度运动;
● 精准控温:PID控温精度可达±0.1K;
● 兼容多种功能模块;
技术规格 Mechanical Specifications
R1轴向旋转 |
±179° |
X/Y 行程 |
15mm(±7.5mm) |
Z 行程 |
最大 300 mm |
相关配件 Options
● E-beam加热;
● 高低温热隔离模块;
● 红外测温组件;
● 气动挡板;
测试曲线图 Test Curve
视频 Video
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