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标准蒸发源
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产品概述 Product Overview
标准双温区中温蒸发源的最大工作温可达1400℃。蒸发源内部采用独特的加热丝设计，每个加热丝均由PBN环支撑，可确保坩埚受热均匀，同时有更好的使用稳定性和更长的使用寿命。中间采用多层线接触式钽筒隔热，大大降低了热辐射损失，提高了热量利用率，使其在较低的功率下即可达到较高的工作温度。蒸发源水冷系统采用独立水冷套设计，屏蔽了高温加热区域对腔体内壁的辐射，可有效减少腔壁放气，为样品生长提供了更好的真空条件，同时提高了温度测量精度。
标准双温区中温蒸发源设计用于在300°C至1400°C的温度范围内蒸发或升华各种元素和化合物，例如典型的III-V MBE材料（例如Al，Ga或In）。
规格说明 Specification
● 加热系统: 辐射加热，带有PBN支撑片的钽加热丝
● 温度稳定性：≤±0.1%，取决于PID温控器
● 超高真空兼容，极限真空量级10-11mbar
● 独立水冷模块
● 挡板：可选材质挡片（钽，PBN等）
| 炉源型号 | E63MT60DF | E63MT80DF | E100MT150DF | E125MT300DF | E150MT700DF |
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坩埚容量 |
60cc | 80cc | 150cc | 300cc | 700cc |
| 坩埚材质 |
PBN |
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| 加热丝数量 |
2 |
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| 加热丝材质 |
钽 |
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| 热点偶类型 |
W5％Re / W26％Re（C型） |
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| 安装法兰 | DN63CF | DN63CF | DN100CF | DN125CF | DN150CF |
| 温度范围 |
300~1400℃ |
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| 上温区最高除气温度 |
1300℃ |
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| 下温区最高除气温度 |
1400℃ |
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| 温度稳定性 |
±0.1% |
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| 烘烤温度 |
250℃ |
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测试曲线图 Test Curve
| —————— E63MT80DF温度功率曲线 —————— | — E63MT80DF上温区1280℃和下温区1260℃时在衬底位置束流分布 — |
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— E63MT80DF上温区1280℃和下温区1260℃时锗薄膜沉积曲线 — |
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