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产品概述 Product Overview

不同配置的蒸发源已经证明了其具有通过可控和稳定的方式蒸发大多数元素的能力。然而这些带有灯丝结构设计的蒸发源仍有局限性,即使是钨丝制作的加热丝,最高温度也只能达到2000℃的极限。这个温度仍然低于诸如Ta, Mo等难熔金属的熔点。
电子束蒸发源,通过加热丝发出的电子,轰击棒材或坩埚,可以使工作温度高达3000℃。
加热区域被水冷铜块环绕,可以保持较低放气水平。通过调节功率0至300W,可调节束流从小于0.1 Å/min至超过50Å/min,可以满足多种材料。蒸发源上安装50mm行程的线性驱动用来移动棒材,确保棒材位置可调。


规格说明 Specification


● 型号:EBS38

● 加热丝灯丝电流: 4.5 A (Max. 5 A)

● 高压(最大): 2 KV
● 高压发射电流: 200 mA (Max. 300 mA)
● 带束流反馈及PID控制
● 靶材(选件): 棒材(直径: 2.5 mm ~ 6 mm;送料长度:50mm)/坩埚(0.25 cc)
● 法兰尺寸: NW38CF(O.D. 2.75”)
● 烘烤温度: 150 ℃ 
● 内置水冷模块
● 挡板:可选Ta挡片(手动/气动)



测试曲线图 Test Curve

——————   铁束流功率曲线    —————— ——————    铁束流稳定性测试    ——————




——————    铁薄膜沉积曲线    —————— ——————    电子束流曲线    ——————




——————    铌束流功率曲线    —————— ——————    铌束流稳定性测试    ——————



产品尺寸 Dimension Drawing




视频 Video


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