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产品概述 Product Overview

高温蒸发源设计用于2000°C以下的超高真空系统运行。陶瓷支撑加热元件的概念在这里不再有效,因为:大多数陶瓷在如此高的温度下是半导的,因此很难绝缘;PBN在1500°C以上分解显著。
为了克服这些问题,制作一种自支撑加热丝,成为开发高温蒸发源的关键。有了这种由粗钨丝制成的自支撑加热丝,更高版本的高温蒸发源甚至可以达到2000°C。
为防止加热元件对法兰的辐射加热,同时能够在最大功率运行时冷却电极,高温蒸发源配置了一个内置电极水冷套。同时,为了防止腔室被辐射加热,建议增加外置水冷套。


规格说明 Specification

● 加热系统:辐射加热,W丝
● 兼容Oxide MBE
● 温度稳定性:≤0.1℃,取决于PID控制器
● 水冷系统:内置电极水冷,和选配外置水冷
● 超高真空兼容,极限真空10-11mbar

法兰尺寸 坩埚尺寸 工作温度 最大除气温度 热电偶 精确度 型号
NW38CF(O.D. 2.75”)
10 cc
800~1800℃ 1900℃ C ±0.1℃
EC38HT
1000~2000℃ 2000℃ C EC38UHT


测试曲线图 Test Curve

——————    功率测试    —————— ——————    温度稳定性测试    ——————



产品尺寸 Dimension Drawing





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标签: evaporators