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产品概述 Product Overview

E38LT 和 E38MT标准蒸发源的最大工作温可达1100℃ 和1500℃。蒸发源内部采用独特的加热丝设计,可确保坩埚受热均匀,同时有更好的使用稳定性,和更长的使用寿命。中间采用多层线接触式钽筒隔热,大大降低了热辐射损失,提高了热量利用率,使其在较低的功率下即可达到较高的工作温度。蒸发源水冷系统采用内置水冷套设计,屏蔽了高温加热区域对腔体内壁的辐射,可有效减少腔壁放气,为样品生长提供了更好的真空条件,同时提高了温度测量精度。
除了标准加热丝外,热口和冷口型的加热丝设计可以满足特殊要求的蒸发材料。


规格说明 Specification

● 加热系统: 辐射加热,带有PBN支撑片的Ta加热丝
● 兼容Oxide MBE
● 温度稳定性:≤0.1℃,取决于PID温控器
● 超高真空兼容,极限真空10-11mbar
● 内置水冷模块
● 挡板:可选Ta挡片(手动/气动)

法兰尺寸 坩埚尺寸 工作温度 最高除气温度 热偶类型 温度稳定性 型号
NW38CF(O.D. 2.75”)
10 cc
100~1100℃ 1200℃ K ±0.1℃
E38LT
300~1500℃ 1600℃ C E38MT


测试曲线图 Test Curve

——————    功率测试    —————— ——————     铜束流温度曲线    ——————


——————     铜薄膜沉积曲线    ——————— ——————     温度稳定性测试    ——————



产品尺寸 Dimension Drawing





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标签: evaporators