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Dec.18
2019
多路温控程序
通过RS485通讯控制，需配备多路RS485通信盒。
版本：1.1.3
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Dec.18
2019
串口服务器程序
如配备多路RS485通信盒，需要安装此程序，将多路并行RS485通讯转换为以太网通讯。
点击下载
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Dec.18
2019
混气室多路Brooks GF100质量流量计控制程序
配备多路RS485通信盒通过RS485通讯控制。
版本：1.0
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Dec.18
2019
RHEED CCD采集程序
用于RHEED pattern采集，需使用配套相机。
版本：1.1
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