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圆形传样系统

费勉仪器为超高真空复杂系统的样品传递专门设计研发了圆形传样系统,该腔体采用超高真空兼容材料SS316,形似UFO,侧面连接口可以对接不同的子系统,使样品可以在真空环境下来回自由切换并进行原位测量。

该传样系统机构末端可实现长距离伸缩运动,(发明专利号:ZL 2015 1 0661875.0),同时机械臂末端带有样品抓取头用于样品抓取。其结构简洁高效,使得成本降低、操作简化,同时设计上注重不同超高真空实验系统的兼容性,扩展了应用的范围,已有丰富的对接案例,如MBE、APRES、STM等。

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规格说明


RDC820RDC520
腔体内径700mm550mm
机械臂安装法兰CF200CF200
观察口法兰CF150CF100
对接法兰CF100CF100
机械臂旋转360°连续旋转360°连续旋转
机械臂伸缩距离(伸出法兰口)820mm520mm
拓展能力最多可连8个子系统最多可连6个子系统
旋转重复精度<0.1°<0.1°
线性伸缩重复精度<1mm<1mm
最高烘烤温度120℃120℃
标签: 超高真空MBE
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