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直线互联系统

直线互联系统与圆型传样系统互为补充,均可实现样品在超高真空的环境下在不同系统间的传递,但是侧重点略有不同。圆形传样系统相对较为紧凑,适合于小型实验室级别的互联搭建;直线互联系统单次传递的样品尺寸和数量更多,适合于较大型的互联搭建。同时圆形传样系统和直线传样系统也能实现互相搭配,例如圆形搭配直线,圆形搭配圆形,或者直线再扩展。费勉仪器已经有丰富的设计和搭建经验和案例供用户参考。

费勉仪器的直线互联系统采用了自有知识产权(发明专利号:ZL201611011730.7), 能够实现传输小车自动穿越法兰接口和闸板阀,方便样品长距离的马达化传输。同时与现有的很多互联系统不同,我们将小车的耦合装置置于系统的底部,这样的结构更加方便样品的观察和操作同时节约了安装空间,使系统也更加美观。


规格说明
LDC1000
腔体内径150mm
系统对接法兰NW63CF(可定制)
观察口法兰CF63 (可定制)
最小单元长度2米
最长长无限制
泵组搭配分子泵组,复合离子泵组(Ion+NEG)
样品运动速度3 m/min
极限真空<3x 10-10 mbar
线性重复精度<0.1mm
最高烘烤温度150℃


标签: 超高真空MBE
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