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标准蒸发源

标准低温(LT)和中温(MT)蒸发源的最大工作温可达1100℃ 和1500℃。蒸发源内部采用独特的加热丝设计,可确保坩埚受热均匀,同时有更好的使用稳定性,和更长的使用寿命。中间采用多层线接触式钽筒隔热,大大降低了热辐射损失,提高了热量利用率,使其在较低的功率下即可达到较高的工作温度。

蒸发源水冷系统采用内置水冷套设计,屏蔽了高温加热区域对腔体内壁的辐射,可有效减少腔壁放气,为样品生长提供了更好的真空条件,同时提高了温度测量精度。

除了标准加热丝外,热口和冷口型的加热丝设计可以满足特殊要求的蒸发材料。

规格说明
●  加热系统:辐射加热,带有PBN支撑片的Ta加热丝●  兼容:Oxide MBE●  温度稳定性:≤0.1%,取决于PID温控器
●  超高真空兼容,极限真空10-11mbar●  内置水冷模块●  挡板:可选Ta挡片(手动/气动)

法兰尺寸坩埚尺寸工作温度最高除气温度热偶类型温度稳定性型号
NW38CF(O.D. 2.75”)
10 cc
100~1100℃1200℃K±0.1%
E38LT
300~1500℃1600℃CE38MT
NW63CF(O.D. 4.50”)
25/50 cc
300~1100℃
1200℃
K±0.1%
E63LT
300~1500℃
1600℃
CE63MT
产品尺寸
NW38CFNW63CF


测试曲线图
——————    功率测试    ————————————     铜束流温度曲线    ——————


——————     铜薄膜沉积曲线    —————————————     温度稳定性测试    ——————


标签: 超高真空MBE
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