| ● 压力范围：1bar~10-11mbar | ● 烘烤温度：150℃ (移除电机及其组件) | ● 焊接波纹管材质：SS316L |
| ● 通径：102mm | ● 上端安装法兰：CF100法兰，通孔 | ● 下端安装法兰：CF150法兰，螺纹孔 |
| ● X/Y驱动：步进电机 (分辨率≤1μm，精度≤10μm) +手轮 | ● Z驱动：步进电机 (分辨率≤1μm，精度≤10μm) | ● 可接受定制 |
| 品名 | 全尺寸三维平移台（CFXYZ） | |||
| 上端移动法兰 | CF100 | |||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 152 | ||
| 英寸 | 6.0 | |||
| 下端安装法兰 | CF150 | |||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 203 | ||
| 英寸 | 8.0 | |||
| XY行程 (mm) | ±12.5 | |||
| Z行程 (mm) | 200 | 350 | 500 | |
| A拉伸 (mm) | 508 | 658 | 808 | |
| B压缩 (mm) | 308 | 308 | 308 | |
| C (mm) | 565 | 715 | 865 | |
| Z驱动 | 步进电机 | |||
| XY驱动 | 手轮+步进电机 | |||
| 型号 | CFXYZ150Z200M-1083 | CFXYZ150Z350M-1083 | CFXYZ150Z500M-1083 | |
| 订购编码 | 3042310009 | 3042310017 | 3042310025 | |
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