EN 021-6525 3206

材料沉积表

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Cu

时间:2021.08.25来源 :点击次数:893次
材料 符号(原子序数)
熔点(℃)
密度(g/cm³)
Z-Ratio
饱和蒸气压(℃)
建议蒸发源*
建议坩埚*
注意事项
E-8Torr
E-6 Torr
E-4Torr
Cu(29)
1084 8.96 0.437 727 857
1017
E38MT/E63MT/E38HT Al2O3/Mo/Ta
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