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Al

时间：2021.08.25来源：点击次数：1026次

材料	符号（原子序数）	熔点(℃)	密度（g/cm³）	Z-Ratio	饱和蒸气压(℃)			建议蒸发源*	建议坩埚*	注意事项
					E-8Torr	E-6 Torr	E-4Torr
铝	Al（13）	660.25	2.702	1.08	807	972	1200	E38MTCL/E63MTCL	PBN	降温速率应尽量低，建议速率为1-2℃/s，填料不超过坩埚容积1/3，角度增加时应再减少填料量，建议每次使用完后更换坩埚

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