产品概述：

直线互联系统与圆型传样系统互为补充，均可实现样品在超高真空的环境下在不同系统间的传递，但是侧重点略有不同。圆形传样系统相对较为紧凑，适合于小型实验室级别的互联搭建；直线互联系统单次传递的样品尺寸和数量更多，适合于较大型的互联搭建。同时圆形传样系统和直线传样系统也能实现互相搭配，例如圆形搭配直线，圆形搭配圆形，或者直线再扩展。费勉仪器已经有丰富的设计和搭建经验和案例供用户参考。

产品概述：

真空控制及保护系统，集成真空规信号、分子泵控制、蒸发源保护、烘烤保护等功能。包含蒸发源、样品架的温度控制软件，包含挡板控制软件，热风式烘烤模块，烘烤温度均匀，拆装方便。

产品概述：

FERMI-RFPS-200是费勉仪器公司最新生产的一种高效射频等离子体源，通过线圈式结构，能在真空腔体内激发产生等离子体，激励气体种类包括但不限于H₂、N₂、O₂、稀有气体等，具有更好的稳定性以及更精确的操控性，广泛应用于分子束外延系统（MBE）中氮化物生长、氮原子注入和掺杂、氧化物生长、氧原子的注入和掺杂、氢化物生长以及氢原子表面清洗等。

产品概述：

费勉仪器提供的6轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制，它主要由低温样品杆、温度控制系统、XYZ-R1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。样品台可以在X、Y、Z方向大范围移动，并可实现绕三个轴的旋转运动（旋转角R1、俯仰角R2、面内旋转角R3）。

产品概述：

桌面减震型低温光学恒温器，采用GM制冷机做冷源，无液氦消耗。多级隔振设计使样品台震动小于200nm。样品台最低温度达3.6K。