费勉BL-1100S 是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源，包含差分腔体，一个单色腔体，一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀，能够使用多种工作气体（He, Xe），满足小光斑，气压增量小的要求。
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