| 各温区温度波动≤0.1% | 分段式水冷及隔温设计 |
| 相邻温区无辐射干扰 | 组合式坩埚设计，拥有长尺寸坩埚出口使团簇充分受热裂解 |
| 三温区 裂解源 | 模块描述 | 配置参数 |
| 型号 | E38TC | |
| 尺寸 | 安装法兰 | DN38CF |
| 真空内长度 | 220mm | |
| 真空内外径 | 35mm | |
| 工作距离 | 200-300mm | |
| 坩埚 | 坩埚容量 | 50cc |
| 坩埚材质 | PBN | |
| 温度 | 热偶类型 | C型(顶部) )、K型(中部) 、K型(底部) |
| 最高工作温度 | 1300℃ (顶部) 、750℃(中部)、650℃(底部) | |
| 温度稳定性 | ≤0.1%，取决于PID温控器 | |
| 最高除气温度 | 1350℃ (顶部) 、800℃(中部) 、700℃(底部) | |
最高烘烤温 | 250℃ |
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