等离子

科普专栏 Jul.30 2020

Active Gas Purifiers（AGP）空气除菌净化技术

费勉仪器的Active Gas Purifiers（AGP）空气净化技术采用纳米科技在电晕放电阈值下实现稳定的无声电离，形成等离子主动灭活区，完美重现了大自然的空气电离净化过程。
科普专栏 Jul.30 2020

复杂超高真空系统用远程等离子清洗源技术

费勉仪器已开发出新一代远程等离子清洗源，则取消了腔体内部电极设计，更加安全方便。系统适用于超高真空工作环境，工作过程不需要拆除其他真空部件，并且无需拆除清洗源即可进行后续烘烤，使得真空系统可以更加长久地保持良好的真空度。

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