EN 021-6525 3206

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远程等离子源

本产品采用了新型远程低温等离子激励技术,分离了等离子的发生室和处理室,具有激励效率高、整体温度低的特点。

规格说明
  兼容气体空气与氧气  工作气压:5Pa-20Pa(推荐)  安装法兰:DN40CF
  散热方式:水冷  使用频率:40kHz


实物图

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标签: 超高真空MBE
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