复杂超高真空系统用远程等离子清洗源技术

费勉仪器（FERMI INSTRUMENTS）目前已成功开发出针对复杂真空系统碳污染原位清除的新一代远程等离子清洗源。

低压气体受外界能量激发产生等离子体，包括电子、离子、中性原子或基团等不同成分，依靠活性粒子的“活化作用”与物体表面进行物理轰击和化学反应双重作用，将所需去除物质变为挥发性物质，即可经由抽真空去除。较之常规化学清洗，等离子表面处理不需要区分处理对象的基材类型，除去一些电敏感性设备，可用于金属、有机物等多种材料，不产生有害污染，综合成本低，此外还可以改善材料表面附着性能，因而广泛应用于等离子清洗、表面处理等领域。

传统等离子清洗机待处理样品需置于清洗机内部，无法处理大型复杂真空系统内部；而费勉仪器已开发出的针对真空系统内部的等离子表面处理系统，实现了在超高真空腔体内壁无损的情况下清洗和微抛光，但是需要在腔体内部设置放电电极，使用上仍存在较多限制。

目前，费勉仪器已开发出新一代远程等离子清洗源，则取消了腔体内部电极设计，更加安全方便。系统适用于超高真空工作环境，工作过程不需要拆除其他真空部件，并且无需拆除清洗源即可进行后续烘烤，使得真空系统可以更加长久地保持良好的真空度。 

▲复杂超高真空系统等离子清洗

新一代等离子清洗源工作气压从E-3 mbar到1 mbar，工作气体选择广泛，以匹配去除不同类型的污染物。可根据实际需求将等离子体中离子与活化分子分离，避免离子轰击对表面产生伤害或者加热样品，仅通过活化成分，如氧原子、活性氧分子等与有机物进行反应，去除表面污染。

▲小巧等离子清洗腔

实践过程中，根据实际腔体或者部件、硅片等不同需求，对离子源功率以及气压进行调节，可以迅速得到完全洁净和无氧化层的表面，即使是边远角落也可以有效清除，从而维护真空环境的洁净。

▲等离子清洗机

▲等离子清洗机清洗中

费勉仪器（FERMI INSTRUMENTS）长期致力于为全球科研机构、国家重大仪器项目和高端工业需求提供精密仪器装置、核心技术、整体解决方案，此次开发的等离子清洗系统可用于复杂真空互联系统，避免开腔产生二次污染，工艺过程易控制，清洗精度高，能够有效去除油脂、油污等有机物及氧化层以及沉积残余，营造良好的实验环境，热忱欢迎广大客户前来接洽。