低温专题 | 温度控制

超高真空系统（以金属密封情况为主）主要是以SS316（或者SS304）材质为主的腔体作为承载，并装配有不同功能的部件（也都是满足超高真空低放气率要求的材料组成）。

真空技术和低温技术都是通用性很强的科学，它们之间存在着密不可分的关系，主要是获得低温的方法有很多，大致可分为物理方法和化学方法两类，而绝大多数制冷方法属物理方法，其中常用的有气体绝热膨胀制冷和相变制冷，另外还有涡流制冷、绝热放气制冷、温差热电制冷、顶磁盐或绝热退磁制冷、3He和4He稀释制冷、3He绝热压缩制冷、吸附制冷等。这一些制冷方法大多应用于超低温温区。下面简单介绍这些方法的制冷原理。

β-Ga2O3作为超宽带隙（UWBG）半导体材料中极具代表性的材料，具有大面积单晶片的可用性、对可见光的高透明度以及出色的稳定性，是制备日盲探测器的天然本征吸收材料。然而，β-Ga2O3分子束外延生长机制仍不明确，特别是氧前驱体对β-Ga2O3生长机制的影响尚未披露，这对氧化物外延层的薄膜质量和光电器件的性能很重要。为了揭示氧前驱体对β-Ga2O3生长机制的影响，研究者使用臭氧和氧等离子体前驱体对生长的外延层的性质进行了表征，并从器件的光电特性对比两种氧前驱体在制备β-Ga2O3的差异。