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二维材料原位剥离堆垛装置CLST-2

该系统由快速进样腔、解理腔、低温样品架、解理样品架及光学显微镜组成。

提供丰富的停放工位和100K-470K的变温范围,实现对薄层材料的解理和转移。


技术规格
 ● 可实现超高真空环境解理,真空度优于5x10-10mbar配备液氮制冷,最低温小于120K操作便捷,借助机械手可实现二维材料解理与转移
 ● 解理面原子层级的平整度,解理得到少层材料标准的Flag-type样品托,兼容性好,可以无缝互联ARPESSTMXPS等表面分析设备


光学显微镜
 进口光学镜头进口CCD相机电动变焦同轴光照明
机械手
便捷传样与解理
解理腔
超高真空腔体55316不锈钢材质符合超高真空标准的法兰口

高强座铝合金支架,大滚轮,便于移动

加热处理与温度控制
解理样品架

电动升降

X、Y、Z、R多轴压电位移台


低温样品架
 手动升降、旋转温度范围:100K-300K同时停放至多42个样品托


标签: 超高真空MBE
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