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手套箱与XPS互联

通过中转腔将手套箱与XPS互联，可确保样品在处理（手套箱中）、运输（中转腔中）和量测（XPS中）的过程中不暴露大气。

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规格说明
●  箱体材料：SUS304不锈钢●  真空度：＜5E-8 mbar（充分烘烤后）●  尺寸：1200×1000×900mm（可定制）
●  选配：快门，用于快速存取样品●  工位：单工位及以上，可依据需求更改●  配备：线性传样杆和样品停放台，方便样品的传输和停放
●  配备：1个大过渡舱，1个小过渡舱●  漏率：＜5E-10 Pa.m3/s●  漏率：＜0.02% vol/h




           

实物图

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标签： 超高真空MBE
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