| ● 磁耦合驱动 | ● 适用于10-11mbar超高真空环境 | ● 最高烘烤温度：150°C |
| ● 材质：超高真空兼容材料 | ● 独特的样品夹持机构，可线性和旋转运动 | ● 可接受定制行程及样品大小 |
| 规格参数 | |||
| 品名 | 样品翻转传样杆 | ||
| 安装法兰 | CF35 | ||
| 法兰 尺寸 | 毫米 | 70 | |
| 英寸 | 2.75 | ||
| A行程 (mm) | 450 | 600 | |
| B总长 (mm) | 853 | 1003 | |
| 重量 (kg) | 4.5 | 6 | |
| 型号 | DMTA35L450 | DMTA35L600 | |
| 订货编码 | 3043010001 | 3043010002 | |
如何使用
该多功能传样杆具有独特的晶圆夹持机构。这使得晶圆可以通过集成弹簧机构可靠地夹持。结构坚固且设计避免过度压缩。样品的线性和旋转运动通过不同行程的单个耦合器实现。晶圆夹持器的驱动方式是内外磁铁耦合。搭配不同尺寸的夹具，可实现2英寸到6英寸的尺寸选择
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