| ● 炉膛尺寸：60/80/100/120×400mm （直径×加热区） | ● 使用温度：最高温度 1200℃，连续工作温度 ≤1100℃ | ● 真空度：<1E-3mbar（机械泵） |
| ● 温控系统：有PID调节、自整定功能 | ● 控温精度：±1℃ | ● 升温速度：推荐 ≤10℃/min ，最快升温速度 15℃/min |
| ● 控温模式：功率5-500W频率13.56MHz自动匹配 | ● 互联情况：可与多种薄膜制备、表征量测设备互联 |
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