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2019年12月6日,费勉仪器向复旦大学张远波教授提供的原位闭循环低温输运系统完成现场安装测试。该系统可实现MBE生长和原位10电极输运测量的超高真空互联,样品最低温度小于4K。所有指标达到合同标准。
(图1)原位10电极闭循环低温输运与MBE互联系统