EN 021-6525 3206

材料沉积表

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Au

时间:2022.09.27来源 :点击次数:705次

材料 符号(原子序数)
熔点(℃)
密度(g/cm³)
Z-Ratio
饱和蒸气压温度(℃)
建议蒸发源*
建议坩埚*
注意事项
E-8Torr
E-6 Torr
E-4Torr
Au(79)
1064 19.32 0.381 807 947
1132
E38MT/E63MT/E38HT
Al2O3/PBN


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