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UHV-SPM系统

扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)是一种能够在纳米尺度上研究样品表面形貌和物理化学性质的高分辨率显微镜。它通过探针与样品表面相互作用,检测两者之间的物理量变化,从而实现成像。其广泛应用于物理学、化学、材料科学、生物学和纳米技术等领域。例如:研究材料的表面形貌、纳米结构和原子排列;研究材料的电学、磁学、力学性质;应用于纳米加工与操控,实现对器件表面的原子级别操控和成像比如原子移动、表面修饰等。扫描探针显微镜凭借其高分辨率和多样化的成像模式,已成为纳米科学研究中不可或缺的工具。

主要特点
● 模块化设计● 便捷的表面处理
● 可靠的样品转移● 低液氮、液氦消耗



                                                                                               
可选模块
● 1K pot● 磁场● 定制控制系统
● 音叉探针● 光学通道● 可扩展光学通道
● 快速降温与变温测量● 模块化安装● 兼容flag样品托及4电极样品托
● 氦气减振无液氦制冷机,有效隔震,降低运行成本



技术参数
真空度< 5 x 10-10 mbar
温度范围5K-300K
粗扫描范围XY: ±2mm,  Z: 7mm
精细扫描范围

XY:  4 um/1 um (RT/5K)@220V Z:  1.4 um/0.2 um

温度稳定性XY: < 0.2 nm/h  Z: < 0.1 nm/h
分辨率原子分辨率
功能STM,音叉式AFM
样品架行程

X/Y: ±7.5 mm; Z: 300 mm (MAX); R1: 179°


标签: 超高真空MBE
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