批量生产型MBE系统，经济高效产量高
最大外延9×4inch，4×6inch，15×3inch和32×2inch衬底；MBE日常工作全自动化：样品传送，束流标定，外延生长等；可实现24/7批量化生产模式。
配备原位监测系统，实时监控生长状态
反射式高能电子衍射仪(RHEED)，束流规(BFM)，残余气体分析(RGA)，预留更多原位监测设备安装口，保留升级拓展能力。
系统占地空间小，容许双生长腔模块
模块化腔室结构系统占地空间小于同类型MBE系统，可支持两个生长腔模块，极大提高产量并允许不兼容的材料体系生长。
系统操作简单，平均运行周期长
系统操作便捷，界面简洁友好，自带安全互锁报警及防误触功能，模块化多腔室构型为各个腔室配备独立的泵组及闸板阀，维护轻松方便，最大程度地保证系统正常运行时长。
| 配置 | MBE-2000 分子束外延系统 | |
| 生长室 | 腔体尺寸 | 1300mm I.D. |
| 液氮冷屏 | 标配 | |
| 衬底加热器最高温度 | 1000℃ | |
| 衬底加热器温度稳定性 | ±0.2℃ | |
| 衬底最大尺寸 | 9x4inch，4x6inch | |
| 衬底最大旋转速度 | 40RPM | |
| 蒸发源配置 | CF200x12 | |
| 独立的蒸发源挡板 | 电机驱动 | |
| 烘烤温度 | 200℃ | |
| RHEED | 15~30KV | |
| RGA | 0-200amu | |
| 预处理 | 预处理加热器最高温度 | 800℃ |
| 进样室 | 样品停放台 | 10个 |
| 红外烘烤灯 | 选配 | |
| MBE软件 | GUIDE软件 | 标配 |
| 选配 | 出样室 | 选配 |
| CCD相机 | 选配 | |
| 全自动手套箱 | 选配 | |
| 污染物回收系统 | 选配 | |
| 二级磷回收系统 | 选配 | |
| 泵车 | 选配 | |
| 真空照明系统 | 选配 | |
| 衬底真实温度监测系统BTM-100 | 选配 | |
| 原子吸收光谱束流监控系统AAFM-3 | 选配 | |
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