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高亮度多气体真空紫外光源
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产品概述 Product Overview
费勉BL1200s是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源，包含差分腔体，一个单色腔体，一个多滤片变换装置，一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀，能够使用多种工作气体（He, Ne, Ar, Kr, Xe...），满足小光斑，气压增量小的要求。
规格说明 Specification
● 可伸缩调节机制
● 75mm行程线性驱动
● 角度调节机制：倾角范围：±3°
● 固态射频电源，射频线缆
● 强制风冷和水冷
● 兼容超高真空，全金属密封
气体
能量 (eV)
波长(nm)
电流 (nA)
光子数 Photons/s
He
21.2
58.5
33.8
1.56e12
Ne
16.85
73.59
11
4.43e11
Ar
11.83
104.82
7.5
4.96e11
Kr
10.03
123.58
2.4
7.5e11
Xe
8.43
146.96
1.5
9.3e13
测试报告 Test Report
视频 Video
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