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费勉仪器Demo系统一期正式交付

文章来源:费勉仪器

2020年4月27日,费勉仪器科技(上海)有限公司(FERMI INSTRUMENTS)设计并搭建的Demo一期系统在公司内部完成各项指标验收,正式交付费勉仪器科研产品部阿力甫教授团队。



薄膜制备、真空、低温、等离子技术是费勉仪器的四大技术方向,费勉仪器整合自身优势,自主开发搭建一整套Demo系统,包括薄膜制备、真空互联和分析测量部分,以便更好的服务客户,提供更加专业的技术方案。
该系统平台为FERMI INSTRUMENTS成熟产品,由费勉代表性产品组成,具有自主核心专利技术,各项指标均在国际上处于先进地位。此次交付为一期系统,包括超高真空薄膜生长系统和圆形传样系统两个模块。


▲Demo系统一期交付成功


超高真空薄膜生长系统


超高真空薄膜生长系统Cubic腔体本底真空优于5×10-10mbar;目前配有高温蒸发源和mini电子束蒸发源,适用于多种材料生长。
搭配样品架为五轴高温样品架和四轴高低温样品架,其中:
五轴高温样品架最高工作温度为1200K(热辐射加热)或 1500K(电子束加热),控温精度好于0.1℃,同时保证了样品台的多自由度运动与位置准确性;
四轴高低温样品架除具备相同的高温指标外,可通过液氮冷却到最低温150K;




▲超高薄膜真空生长系统 ▲样品台多自由度运转


圆形传样系统RDC820

RDC820采用了超高真空中枢的思路,不锈钢腔体标配8个对接口,机械臂可以从任何一个口伸出820mm,伸缩比远优于普通传样杆结构。除了旋转和伸缩自由度外,RDC820的机械臂还具有升降自由度,用来适应不同系统之间的高度差异;机械臂配合弹道模块可以实现360度的翻转,用来配合不同系统之间不同的样品取向;通过搭配标准的Flag Type Sample holder,机械臂可以通过一个特制的机构实现样品托的取放。此圆形传样系统为之后连入更多不同功能的系统预留了充足的扩展空间。


▲圆形传样系统RDC820



▲机械臂360°自由翻转 ▲机械臂自由伸缩


这是费勉仪器第一次在公司内部正式交付一套整机系统,将作为公司内部系统教学培训平台和对外技术展示窗口,一期系统将主要用于薄膜制备,为客户提供蒸发源应用于各种材料生长所需要的专业数据。在此基础上,未来还将利用低温、等离子技术的优势陆续对接不同费勉仪器产品,如扩展超高分辨角分辨光电子能谱测量系统等。费勉仪器拥有强大的系统集成和研发能力以及国际先进的产品技术指标,我们希望与国内外更多优秀科研工作者合作,持续提供更加专业的技术服务和完善的解决方案。

标签: Demo系统