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费勉仪器深耕于真空技术、低温技术、薄膜制备和等离子技术,公司利用自身优势和技术进步优势,致力于为全球学术及研发机构、国家重大项目和高端产业提供精密仪器装置、核心技术及整体解决方案。目前企业通过标准真空产品和定制化系统两个渠道将应用领域从实验室扩大到工业化领域,为航空航天、材料研究、芯片制造、低温存储和传输样机等提供基础支撑,实现生物无损保存、大容积工业化镀膜、等离子灭菌及紫外光照明等工业化用途。
  • 新年伊始,万象更新 | 费勉仪器自主研发的高亮度紫外光源助力薛其坤院士团队完成ARPES系统升级改造

    旧岁已展千重锦,新年再进百尺竿。承载着新年的曙光,2020年1月10日,费勉仪器等离子部门的技术人员再传佳音,在清华大学薛其坤院士团队的MBE-STM-ARPES超高真空复杂系统上,顺利完成了自主研发的BL1200s真空紫外光源的升级安装工作,成功替代了原有的Scienta VUV5k真空紫外光源。 【图1】BL1200s多气体单色化真空紫外光源

  • 喜报 | 费勉仪器荣获2019年度上海市“专精特新”企业称号!

    为强化创新引领,推动企业加快转型升级,引导中小企业走专业化、精细化、特色化、新颖化发展之路,由上海市经济和信息化委员会牵头组织开展了本市“专精特新”中小企业推荐申报(复核)工作。入选企业将被列为重点服务对象,在人才队伍建设、技术创新、市场开拓、品牌培育、管理提升、融资服务等方面优先获得支持服务。 在2

  • 美国莱斯大学ARPES系统交付使用

    2019年12月,费勉仪器科技(上海)有限公司(FERMI INSTRUMENTS)设计并主导搭建的角分辨光电子能谱系统(ARPES)在美国莱斯大学(https://physics.rice.edu/)完成各项指标验收,正式交付仪鸣教授团队(http://yilab.rice.edu/)。这是费勉仪器在美国交付的第一套高精度整机测量系统,也是国产高端科研仪器的一次重大突破

  • 费勉仪器新一代复杂超高真空系统用远程等离子清洗源技术

    费勉仪器(FERMI INSTRUMENTS)目前已成功开发出针对复杂真空系统碳污染原位清除的新一代远程等离子清洗源。 低压气体受外界能量激发产生等离子体,包括电子、离子、中性原子或基团等不同成分,依靠活性粒子的“活化作用”与物体表面进行物理轰击和化学反应双重作用,将所需去除物质变为挥发性物质,即可经由抽真空去除。较

  • 复旦大学原位闭循环低温输运系统交付使用暨赠送张远波教授纪念奖杯

    2019年12月6日,费勉仪器向复旦大学张远波教授提供的原位闭循环低温输运系统完成现场安装测试。该系统可实现MBE生长和原位10电极输运测量的超高真空互联,样品最低温度小于4K。所有指标达到合同标准。 (图1)原位10电极闭循环低温输运与MBE互联系统费勉仪器总经理欧宏炜博士和张远波教授参加了验收仪式,同时欧宏炜博士向