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产品概述 Product Overview

碱金属广泛应用于电子掺杂和阴极薄膜制备。但是由于碱金属的化学性能十分活泼,以至于不使用手套箱或者真空传输器,无法将纯的碱金属材料放入到蒸发源中。
一种使用碱金属释放剂(AMD)的方法,可以安全高效的沉积诸如铯、钾、钠、铷、锂等超纯碱金属。碱金属释放剂(AMDs)保持纯的碱金属以稳定的盐与吸气材料相结合的形式存在。吸气剂的存在确保碱金属蒸发期间的超纯环境。
碱金属蒸发源兼容SAES AMD 型号X/NF/xx-/12/FT10+10,并最多可同时安装3条碱金属释放剂。独立通道沉积,或通过选择电源实现共沉积。所有碱金属释放剂使用简单、替换容易,并且没有其他额外的消耗品。


规格说明 Specification

● 法兰尺寸:NW38CF(O.D. 2.75”)    
● 加热系统:电阻加热    
● 靶材(选件):SAES 碱金属释放剂 (X/NF/xx/12/FT10+10)    
● 最大工作电流:默认7.5A, 取决于所选释放剂    
● 真空度:<10-6 mbar
● 最大烘烤温度:250 ℃   


配套产品 Package product

碱金属条

FT=引脚长度

A=有效长度12mm 

以上所有尺寸单位:mm


碱金属材质

质量(mg)

起始蒸发电流(A)
平均值 标准偏差
5.2 4.7 0.2
2.9 5.3 0.2
1.7 6.0 0.2
4.5 5.3 0.2
0.8 7.3 0.2











产品尺寸 Dimension Drawing





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标签: evaporators