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2020-05-22
2020年5月，由费勉仪器设计并搭建完成的超高真空PECVD系统在苏州纳米所完成安装，并移交用户使用。 ▲与超高真空系统互联的PECVD系统传统的CVD系统在材料生长领域已取得了很好的成果，特别是石墨烯等二维材料的生长，CVD有着其他手段无法比拟的优势。传统CVD系统通常基
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