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Al
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| 材料 |
符号（原子序数） |
熔点(℃) |
密度（g/cm³） |
Z-Ratio |
饱和蒸气压(℃) |
建议蒸发源* |
建议坩埚* |
注意事项 |
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E-8Torr |
E-6 Torr |
E-4Torr |
||||||||
| 铝 |
Al（13） |
660.25 | 2.702 | 1.08 | 807 |
972 |
1200 |
E38MTCL/E63MTCL |
PBN |
降温速率应尽量低，建议速率为1-2℃/s，填料不超过坩埚容积1/3，角度增加时应再减少填料量，建议每次使用完后更换坩埚 |
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