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Al

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材料 符号(原子序数)
熔点(℃)
密度(g/cm³)
Z-Ratio
饱和蒸气压(℃)
建议蒸发源*
建议坩埚*
注意事项
E-8Torr
E-6 Torr
E-4Torr
Al(13)
660.25 2.702 1.08 807 972
1200
E38MTCL/E63MTCL
PBN
降温速率应尽量低,建议速率为1-2℃/s,填料不超过坩埚容积1/3,角度增加时应再减少填料量,建议每次使用完后更换坩埚







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